光學(xué)形貌儀進(jìn)行表面粗糙度和表面形貌測(cè)量時(shí),比探針式輪廓儀有更低的成本,但同樣使用了當(dāng)今較高分辨率光學(xué)輪廓儀采用的白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)測(cè)量技術(shù),垂直分辨率可達(dá)次納米級(jí)。光學(xué)形貌儀的直觀軟件包括表面粗糙度,形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量,在數(shù)秒內(nèi),您可以獲得平面和曲面表面形貌測(cè)量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件來(lái)組合多個(gè)影像以提供大面積的測(cè)量。
光學(xué)形貌儀可存儲(chǔ)、共享、查看與分析來(lái)自您的光學(xué)輪廓儀或3D顯微鏡之3D影像。任何臺(tái)式電腦,平板電腦或智能手機(jī)上都能查看和操作。享受全面的圖像分析功能,包括表面輪廓(粗糙度)和階高分析。每臺(tái)儀器都標(biāo)配自動(dòng)化X/Y平臺(tái);并配備了一個(gè)10微米階高標(biāo)準(zhǔn)片,可達(dá)0.5%準(zhǔn)確度。另我們還提供100nm,2微米以及4微米等多階高的標(biāo)準(zhǔn)片。光學(xué)形貌儀采用10倍物鏡可以提供更寬廣的2毫米視野,其數(shù)位變焦功能有助于緩解不同應(yīng)用時(shí)切換多個(gè)物鏡的需要。手動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤能一次搭載四組物鏡,可滿足需要多種倍率物鏡交替使用的測(cè)量應(yīng)用。
產(chǎn)品應(yīng)用:
MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽(yáng)能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)。
產(chǎn)品特性:
1、采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級(jí)的分辨率;
2、測(cè)量具有非破壞性,測(cè)量速度快,準(zhǔn)確度高;
3、測(cè)量范圍廣,可測(cè)透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);
4、尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面;
5、不受樣品反射率的影響;
6、不受環(huán)境光的影響;
7、測(cè)量簡(jiǎn)單,樣品無(wú)需特殊處理。