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自動化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)

簡要描述:長達(dá) 150 毫米的自動化全場紫外納米壓印解決方案,采用 EVG 專有的 SmartNIL 技術(shù)

  • 產(chǎn)品型號:EVG720
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時(shí)間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 1552

詳細(xì)介紹

EVG720 系統(tǒng)利用 EVG 創(chuàng)新的 SmartNIL 技術(shù)和材料專業(yè)知識,實(shí)現(xiàn)微米級和納米級結(jié)構(gòu)的大規(guī)模制造。EVG720 系統(tǒng)采用 SmartNIL 技術(shù),能夠在大面積上打印小至 40 nm* 的納米結(jié)構(gòu),具有較大的吞吐量和較低的擁有成本,非常適合下一代微流控和光子器件(如衍射光學(xué)元件 (DOE))的批量生產(chǎn)。

*分辨率取決于工藝和模板


特點(diǎn)


· 具有復(fù)制保真度的批量驗(yàn)證印記技術(shù)

· 成熟的SmartNIL技術(shù)與多用途聚合物沖壓技術(shù)®

· 集成壓印,UV固化脫模,和工作印章制作

· 自動磁帶到磁帶處理加上半自動化的研發(fā)模式

· 可選的頂部對齊

· 可選的迷你環(huán)境

· 開放平臺的所有商業(yè)可用的印記材料

· 從研發(fā)到生產(chǎn)的可擴(kuò)展性

· 系統(tǒng)外殼,最佳的過程穩(wěn)定性和可靠性

product-720.jpg

技術(shù)數(shù)據(jù)

晶圓直徑(襯底尺寸):75至150毫米

分辨率:≤ 40 nm(分辨率取決于模板和工藝)

過程支持:SmartNIL®

曝光源:大功率LED(i-線)> 40mW/cm2

對齊:可選頂部對中

自動分離:支持

迷你環(huán)境和氣候控制:可選

工作印章制作:支持


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